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高ピッチ精度と高開孔精度
・ピッチ精度は熱膨張係数の極めて小さなインバー材を障子の桟状に配置させることにより確保
・各ブロック内の孔寸法精度は高精度で実績のあるEF2技術（電鋳法）を採用 |
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蒸着時の熱変形を防止（45℃迄熱歪≒0）
・各ブロックに配置された蒸着マスク部は予め電鋳応力を調整しテンションが掛かった状態にしてインバー桟枠毎に転写、独立懸架されているため、温度が上昇しても熱変形が起こらない |
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蒸着性向上
・補強付き形状であるため、蒸着マスク部板厚を薄く製作することが可能となり、影の問題を解消 |
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溶剤洗浄対応・軽量化
・オール金属一体構造 → 溶剤洗浄可能
・フレームなし → 軽量化 |
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